為什么羅茨真空泵配合前級泵?羅茨真空泵通常分為兩種,一種為干式羅茨真空泵,一種為濕式羅茨真空泵。濕式羅茨真空泵不配備前級泵,而干式羅茨真空泵則要配前級泵組合成機組。故此,在提到運用時,必然會要聯(lián)系到羅茨真空泵機組。
組合成羅茨真空泵機組,羅茨真空泵與前級泵的抽速比的選取的是很關(guān)鍵的。如前所述,羅茨真空泵的壓縮比很有限的。當入口處壓強在100Torr一直到大氣壓時,壓縮比為2.15;當入口處壓強為10的負一次方Torr,壓縮比可以達到40。
為什么羅茨真空泵配合前級泵?
在考慮機組組成時,最先要考慮到羅茨真空泵入口處壓強范圍,假定是10Torr,能知最大的容許壓縮比為8。這一壓縮比決定了若前級泵的容量,因壓縮比是二者抽速的反比。通常壓縮比在2-10內(nèi)選取的。
此外,應(yīng)該考慮到對預(yù)抽時間的要求。真空設(shè)備是充當輔助機器設(shè)備運用于各類設(shè)備中的,假如正常工作時間段遠比預(yù)抽時間長,可選擇較小的前級泵(壓縮比可大點)•倘若真空室比較大,并且要很快的預(yù)抽,就用比較大的前級泵。有時候為了能充分發(fā)揮機器設(shè)備的效率,機組前配有一臺比較大的預(yù)抽泵,工作一切正常后再關(guān)閉它為了能提升真空度,有時候把兩個羅茨真空泵串聯(lián)運用,選二者的抽速比為2:5。假如壓縮比選大了,前級泵就比較小 ,不益于系統(tǒng)的預(yù)抽,并且當?shù)谝患壛_茨真空泵反壓強提升時,易于導致第二級羅茨真空泵過載。
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