為什么羅茨真空泵配合前級(jí)泵?羅茨真空泵通常分為兩種,一種為干式羅茨真空泵,一種為濕式羅茨真空泵。濕式羅茨真空泵不配備前級(jí)泵,而干式羅茨真空泵則要配前級(jí)泵組合成機(jī)組。故此,在提到運(yùn)用時(shí),必然會(huì)要聯(lián)系到羅茨真空泵機(jī)組。
組合成羅茨真空泵機(jī)組,羅茨真空泵與前級(jí)泵的抽速比的選取的是很關(guān)鍵的。如前所述,羅茨真空泵的壓縮比很有限的。當(dāng)入口處壓強(qiáng)在100Torr一直到大氣壓時(shí),壓縮比為2.15;當(dāng)入口處壓強(qiáng)為10的負(fù)一次方Torr,壓縮比可以達(dá)到40。
為什么羅茨真空泵配合前級(jí)泵?
在考慮機(jī)組組成時(shí),最先要考慮到羅茨真空泵入口處壓強(qiáng)范圍,假定是10Torr,能知最大的容許壓縮比為8。這一壓縮比決定了若前級(jí)泵的容量,因壓縮比是二者抽速的反比。通常壓縮比在2-10內(nèi)選取的。
此外,應(yīng)該考慮到對(duì)預(yù)抽時(shí)間的要求。真空設(shè)備是充當(dāng)輔助機(jī)器設(shè)備運(yùn)用于各類設(shè)備中的,假如正常工作時(shí)間段遠(yuǎn)比預(yù)抽時(shí)間長(zhǎng),可選擇較小的前級(jí)泵(壓縮比可大點(diǎn))•倘若真空室比較大,并且要很快的預(yù)抽,就用比較大的前級(jí)泵。有時(shí)候?yàn)榱四艹浞职l(fā)揮機(jī)器設(shè)備的效率,機(jī)組前配有一臺(tái)比較大的預(yù)抽泵,工作一切正常后再關(guān)閉它為了能提升真空度,有時(shí)候把兩個(gè)羅茨真空泵串聯(lián)運(yùn)用,選二者的抽速比為2:5。假如壓縮比選大了,前級(jí)泵就比較小 ,不益于系統(tǒng)的預(yù)抽,并且當(dāng)?shù)谝患?jí)羅茨真空泵反壓強(qiáng)提升時(shí),易于導(dǎo)致第二級(jí)羅茨真空泵過(guò)載。
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